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FLP 系列
低脈動氣動風囊泵

低脈動
獨特的系統驅動機制,確保氣囊最佳運動效果,將脈動減到最低。


減低壓縮空氣消耗量
在不
影響性能下,減少高達30%的壓縮空氣消耗量。


高持續壓力
最佳的氣囊運動,有效提高壓力的承受能力,以維持穩定的流量和負載頻繁變化下的吐出壓力,尤其在單晶圓處理過程中。


無需阻尼器
泵的運作無需使用阻尼器,節省設備空間及安裝費用,例如氟塑料接管等。整體設備的重量/尺寸得以最小化。

規格

 

FLP-60W

FLP-75W

最大吐出量

50

92

最大脈動範圍

0.06 MPa

液體溫度範圍
(最大空氣供應)

5-100°C
(0.5MPa)

101-150°C
(0.4MPa)

150-180°C
(0.3 MPa)

5-100°C
(0.5MPa)

101-150°
(0.4MPa)

150-180°C
(0.3 MPa)

最大液體粘度

50 mPa・s

吸程

1 m

環境溫度/濕度

0~40°C (非冷凝)/ 30~60°C (非冷凝)

0~60°C (非冷凝) / 30~60°C (非冷凝)

儲存溫度/濕度

-10~60°C (非冷凝) / 20-70°C (非冷凝)

重量

22 kg

42 kg

流量(L/min)
最大揚程(m)
最大吐出壓力(MPa)
介質最低溫度(°C)
介質最大溫度(°C)
水處理功能
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