低脈動
獨特的系統驅動機制,確保氣囊最佳運動效果,將脈動減到最低。
減低壓縮空氣消耗量
在不影響泵的性能下,減少高達30%的壓縮空氣消耗量。
高持續壓力
最佳的氣囊運動,有效提高壓力的承受能力,以維持穩定的流量和負載頻繁變化下的吐出壓力,尤其在單晶圓處理過程中。
無需阻尼器
泵的運作無需使用阻尼器,節省設備空間及安裝費用,例如氟塑料接管等。整體設備的重量/尺寸得以最小化。
規格
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FLP-60W |
FLP-75W |
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最大吐出量 |
50 |
92 |
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最大脈動範圍 |
0.06 MPa |
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液體溫度範圍 (最大空氣供應) |
5-100°C |
101-150°C |
150-180°C |
5-100°C |
101-150° |
150-180°C |
最大液體粘度 |
50 mPa・s |
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吸程 |
1 m |
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環境溫度/濕度 |
0~40°C (非冷凝)/ 30~60°C (非冷凝) |
0~60°C (非冷凝) / 30~60°C (非冷凝) |
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儲存溫度/濕度 |
-10~60°C (非冷凝) / 20-70°C (非冷凝) |
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重量 |
22 kg |
42 kg |