易威奇 - IWAKI CHINA
首页 > 产品介绍 > 半导体气动泵

PDS-105R
高精度, 结构紧凑, 节省光刻胶

高精度
步进电机驱动设计,重复精度达±0.3% (F.S.)。

结构紧凑
高度260mm (旧型号达330mm),宽度仅50mm (旧型号为60mm)。

节省光刻胶
采用高扭距步进电机驱动,吐出稳定,重复精度高。

无污染
优化管膜片的设计,消除因滑动部件的磨损而产生颗粒的可能性,以及在盲区凝结的可能性。

规格

最大吐出量

5.0 mL/shot

吐出速度

0.1 ~ 4.0 mL/sec

吸入速度

0.1 ~ 3.0 mL/sec

最大吐出压力

0.15 MPa

重复精度

±0.3 % (F.S.) 或以下

主要材质

PFA, PTFE, PCTFE, Kalrezr 3

液体粘度范围

200 mPa·s

流量(L/min)
最大揚程(m)
最大吐出壓力(MPa)
介質最低溫度(°C)
介質最大溫度(°C)
水處理功能
搜寻 >>