高精度
步進電機驅動設計，重複精度達±0.3% (F.S.)。

結構緊湊
高度260mm (舊型號達330mm)，寬度僅50mm (舊型號為60mm)。

節省光刻膠
採用高扭距步進電機驅動，吐出穩定，重複精度高。

無污染
優化管膜片的設計，消除因滑動部件的磨損而產生顆粒的可能性，以及在盲區凝結的可能性。