高速衝程
高速衝程 (FS-80N最高達200 spm),讓結構緊湊、重量輕、成本低,可同時用於高流量及高壓力工況。
無污染設計
過流端採用氟樹脂無污染構造,使用獨有的軸封顯著降低顆粒的產生(已申請專利)。
高流量及高吐出壓力 最大吐出量高達0.7MPa,不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求,同時適用於清洗及CMP制程。
傳感器驅動系統
內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。
規格
最大吐出量
100 L/min
最大吐出壓力
0.7 MPa
最大耗氣量
1495 NL/min
最大衝程率
100 spm
主要材質
PTFE, PFA
液體輸送溫度範圍
5 ~ 60 °C