高速衝程

高速衝程 (FS-80N最高達200 spm)，讓結構緊湊、重量輕、成本低，可同時用於高流量及高壓力工況。

無污染設計

過流端採用氟樹脂無污染構造，使用獨有的軸封顯著降低顆粒的產生(已申請專利)。

高流量及高吐出壓力
最大吐出量高達0.7MPa，不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求，同時適用於清洗及CMP制程。

傳感器驅動系統

內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。