高速衝程

提升泵的衝程速度 (最高達240 spm)，讓製造過程中，大大減少泵的尺寸、重量、成本，及降低脈動。

無污染設計

過流端零件均採用氟樹脂材質，沒有金屬零件外露的設計，外殼採用氟樹脂材質。使用獨有的軸封 (已申請專利)，能顯著降低顆粒的產生。

液體輸送溫度範圍寬泛/高吐出壓力

液體輸送溫度範圍高達5 - 180°C，吐出壓力高達45MPa。不僅適用於清洗和CMP制程，同時適用於化學液體供藥。

易於維護

更換開關無需拆卸，不需定期收緊螺栓，減少了停機時間。

傳感器驅動系統

內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。