高分辨率

最小流量達1mL/shot，為晶圓清洗過程中所需的化學凝結控制，提供更高的準確性。CFD系列能提供準確流量，防止過量添加或液體浪費。此外，防虹吸設計防止意外吸入。

耐腐蝕過流端

氟材質口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導體加工所用的強酸、強鹼和雙氧水。針對化學腐蝕，PTFE / PFA / PP / PVC材質外部零件和PTFE塗層螺絲能提供額外的保護。

寬廣的吐出率調節

打開底蓋可輕鬆在1.0-2.7ml/shot之間調節衝程長度 (出廠默認設定是1.0ml/shot)。

配備洩漏傳感器

每台泵都配有洩漏傳感器，可即時檢測任何洩漏情況。