大大節省光刻膠
使用高力矩步進電機作為驅動裝置,確保吐出量的穩定性。即使使用過濾器過濾堵塞物或液體粘度出現變化時,亦確保暢通無阻。吐出重複精度(高達0.3%)能保持不變。
無污染
採用管型膜片結構,內部過流部分是平整、光滑,殘留體積極小。因為整個系統幾乎沒有一個地方,可讓液體依附,有效避免顆粒產生。
適用於各種塗層工藝
因吐出速度可自由改變,該系統能夠處理各種光刻膠塗層工藝,包括極小吐出量或極短時間週期等不同的應用
減少生產線停機時間
吐出量和吐出時間可以輕鬆在控制器設定,大大減低操作時間、人手和生產線停機時間。