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PDS-H115
可輸送高粘度光刻膠,適用於LED和MEMS工藝

大大節省光刻膠
使用高力矩步進電機作為驅動裝置,確保吐出量的穩定性。即使使用過濾器過濾堵塞物或液體粘度出現變化時,亦確保暢通無阻。吐出重複精度(高達0.3%)能保持不變。

無污染
採用管型膜片結構,內部過流部分是平整、光滑,殘留體積極小。因為整個系統幾乎沒有一個地方,可讓液體依附,有效避免顆粒產生。

適用於各種塗層工藝
因吐出速度可自由改變,該系統能夠處理各種光刻膠塗層工藝,包括極小吐出量或極短時間週期等不同的應用


減少生產線停機時間
吐出量和吐出時間可以輕鬆在控制器設定,大大減低操作時間、人手和生產線停機時間。

規格

型號

PDS-105R

最大吐出量

12 mL/shot

最大吐出壓力

1.0 MPa

吐出速度

0.5 ~ 2.0 mL/sec

吸入速度

0.3 ~ 2.0 mL/sec

最高液體粘度範圍 10,000 mPa·S

 

流量(L/min)
最大揚程(m)
最大吐出壓力(MPa)
介質最低溫度(°C)
介質最大溫度(°C)
水處理功能
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