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TCTT系列
半導體制程適用高腐蝕性PTFE泵
規格
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TC030TT |
TC050TT |
TC152TT |
TC253TT |
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最大吐出量 |
8.5 L/min |
11 L/min |
50 L/min |
150 L/min |
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最高吐出壓力 |
0.5 MPa |
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最大空氣損耗量 |
170 L/min |
500 L/min |
1500 L/min |
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供氣壓力 |
0.2~0.5 MPa |
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吐出量/1行程周期 |
10 mL |
13 mL |
85 mL |
500 mL |
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接口徑 吸進口·吐出口 |
Rc 1/4 |
Rc 1/2或JIS Flange 10K15A |
Rc 1或JIS Flange 10K25A |
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